Tämä laite soveltuu kiekkojen esikäsittelyyn ennen liimausta. Järjestelmä koostuu kammiosta, tyhjiöjärjestelmästä, lämmitysjärjestelmästä, typenpoistojärjestelmästä, nesteen annostelujärjestelmästä ja ohjausjärjestelmästä. Useiden tyhjiöjaksojen ja 150 ºC:n kuumalla typellä lämmittämisen ansiosta laite kuivaa ja puhdistaa kiekon pinnan tehokkaasti ja estää hapettumisen ja epäpuhtauksien diffuusion. Nesteannostelujärjestelmä voi myös levittää HDMS-suojakalvon kiekon pinnalle, mikä johtaa erinomaisiin liimausominaisuuksiin. Manuaaliseen HMDS-pinnoitukseen verrattuna tämä järjestelmä tarjoaa merkittäviä etuja, kuten hyvän toistettavuuden, alhaisemman kemikaalien kulutuksen, ympäristöystävällisyyden ja turvallisuuden ihmisten terveydelle. Sitä voidaan käyttää myös kiekkojen puhdistamiseen muissa prosesseissa. Ohjausjärjestelmä käyttää PLC:tä ja ihmisen ja koneen käyttöliittymä kosketusnäyttöä, mikä tarjoaa korkean luotettavuuden, helppokäyttöisyyden ja intuitiivisen ohjauksen.
Puolijohteiden (siru/integroitu piiri) valmistusprosesseissa fotolitografia on tärkeä vaihe integroidun piirin kuvion siirrossa. Fotoresistipinnoitteen laatu vaikuttaa suoraan fotolitografian laatuun, mikä tekee pinnoitusprosessista erityisen tärkeän. Useimmat fotolitografiassa käytetyt fotoresistit ovat hydrofobisia, kun taas piikiekon pinnalla olevat hydroksyyliryhmät ja jäännösvesimolekyylit ovat hydrofiilisiä. Tämä johtaa huonoon adheesioon fotoresistin ja piikiekon välillä, erityisesti positiivisten fotoresistien kanssa. Kehityksen aikana kehiteratkaisu voi tunkeutua fotoresistin ja piikiekon välisen rajapinnan läpi aiheuttaen helposti ilmiöitä, kuten fotoresistin kuoriutumista ja kellumista, mikä johtaa fotolitografisen kuvion siirron epäonnistumiseen. Samanaikaisesti märkäetsaus on altis sivusyövytykselle. HMDS-esikäsittelyjärjestelmällä suoritetun esikäsittelyn jälkeen alustan pinnalle päällystetään siloksaanipohjainen yhdiste. Kiekon pinta muuttuu hydrofiilisestä hydrofobiseksi, mikä vähentää kosketuskulmaa, vähentää tarvittavan fotoresistin määrää ja parantaa tarttuvuutta fotoresistiin. Tämä estää sivuttaissyövytystä ja kuvion ajautumista kehitysprosessin aikana, parantaa fotoresistin tarttuvuutta ja parantaa materiaalin korroosionkestävyyttä ankarissa ympäristöissä, mikä parantaa merkittävästi tuotteen laatua ja vähentää virheiden määrää.
Prosessin tavoite:
Laite toimii täysin automaattisesti PLC-ohjauksella. Prosessi sisältää alustan korkean lämpötilan paistamisen pinnan kosteuden poistamiseksi, yhdistettynä tyhjiökuivaukseen ja typpisuojausteknologiaan kosteuden ja epäpuhtauksien poistamiseksi kiekon pinnalta, hapettumisen ja epäpuhtauksien diffuusion estämiseksi sekä puhtauden varmistamisen ennen pinnoitusta. Sitten syötetään HMDS-kaasua (heksametyylidisilatsaani C6H19NSi2). Korkeassa lämpötilassa alustan pinta ja HMDS reagoivat täysin muodostaen yhdisteen, joka koostuu pääasiassa siloksaanista. Tämä muuttaa substraatin pinnan hydrofiilisestä hydrofobiseksi, jolloin hydrofobinen ryhmä voi sitoutua hyvin fotoresistiin, joka toimii kytkentäaineena.
Prosessin kulku:
Ensin alipainepumppu käynnistetään imuroinnin aloittamiseksi. Kun kammion tyhjiotaso saavuttaa asetetun arvon (tämä arvo voidaan asettaa muuttamalla alipainemittarin P2-arvoa, katso tyhjiömittarin käsikirja), typpeä lisätään. Kun asetettu alipainetaso on saavutettu (tämä arvo voidaan asettaa muuttamalla alipainemittarin P1-arvoa), imurointi ja typen syöttöprosessi toistetaan. Kun asetettu typen lisäysten määrä on saavutettu, imurointi alkaa uudelleen, jota seuraa kemiallisen liuoksen lisääminen. Asetetun ajan jälkeen kemiallisen liuoksen lisääminen pysähtyy ja pitovaihe alkaa. Asetetun pitoajan jälkeen imurointi ja typen syöttö alkavat uudelleen asetetun jaksomäärän ajan. Kun järjestelmä suorittaa prosessin automaattisesti loppuun, kuuluu ääni- ja visuaalinen hälytys, joka osoittaa, että kiekot ovat valmiita poistettavaksi.
① Ulkokuoren materiaali: Valmistettu valitusta korkealaatuisesta kylmävalssatusta teräslevystä (Q235), joka on tarkasti muotoiltu CNC-työstyksellä. Pinta on käsitelty fosfatointi- ja antistaattisella jauhemaalilla, mikä luo vankan kuoren. Se on antistaattinen, korroosionkestävä ja naarmuuntumaton, mikä varmistaa kestävän laadun;
② Sisäkammio: Sisäkammio on valmistettu harjatusta ruostumattomasta teräksestä 304, materiaalisertifioitu (materiaaliraportti saatavilla), korroosionkestävä ja helppo puhdistaa;
③ Ohjauspaneeli: Huippuluokan värillinen kosketusnäyttöohjain, joka näyttää tärkeimmät parametrit, kuten lämpötilan ja ajan, reaaliajassa. Älykkäät vika- ja hälytystietokehotteet tarjoavat selkeän ja intuitiivisen ohjauksen;
④ Tarkkailuikkuna: Panoraama suuren kulman tarkkailuikkuna, jossa käytetään 8 mm:n ulkoista ja 20 mm:n sisäistä kaksikerroksista karkaistua lasia, korkean lämpötilan kestävä ja erittäin läpinäkyvä, näyttää selkeästi koko kammion sisäosan reaaliajassa, mikä tekee kokeellisesta tilasta selvän yhdellä silmäyksellä;
⑤ Hyllyt: Vakiokromatut korroosionkestävät verkkohyllyt, saatavana myös erilaisina materiaaleina ja rakenteina joustavaan mukauttamiseen erilaisiin kokeellisiin tarpeisiin;
⑥ Eristyskerros: Ulkokuoren ja työkammion välinen tila on täytetty 80 mm paksulla erittäin puhtaalla keraamisella kuitupuuvillalla (Al2O3), joka tarjoaa erinomaisen lämmöneristyksen, vähentää huomattavasti lämpöhäviöitä, varmistaa jatkuvan lämpötilan vakauden ja korkean energiatehokkuuden;
⑦ Tiivistysnauha: Varustettu räätälöidyllä silikonikumisella tiivisterenkaalla, kehäkuperalla viivarakenteella ja ainutlaatuisella aktiivisella tyhjiön rikkovalla tiivistystekniikalla. Se muodostaa välittömästi kanavan paineen purkamisen aikana, mikä parantaa huomattavasti tyhjiön katkaisutehokkuutta ja varmistaa, että ovi voidaan avata helposti paineen purkamisen jälkeen;
⑧ Lämmitysputki: Mittatilaustyönä valmistettu erittäin pitkäikäinen ruostumattomasta teräksestä valmistettu SUS304-lämmitysputki, jossa valinnainen hylly/ympäröivä lämmitysrakenne, joka on sovitettu tarkasti prosessiin varmistaen tasaisen ja tehokkaan lämmityksen;
⑨ Tulo-/poistoventtiilit: Täyskupariset tyhjiöventtiilit, helppo ja herkkä käyttää ja luotettava tiivistys;
① Tämä järjestelmä suorittaa automaattisesti ohjelmoidut jaksot vakiolämpötilasta, korkeasta tyhjiöstä ja inertin kaasun tyhjennyksestä esiasetettujen parametrien mukaisesti; se ohjaa tarkasti nesteen ruiskutuksen ajoitusta ja paineen ylläpitoa; ja tarjoaa ääni- ja visuaalisia signaaleja prosessin päätyttyä.
② Värillinen kosketusnäyttö: Varustettu tavallisella värinäytöllä ja kosketusohjauksella, joka näyttää parametrit, kuten asetetun lämpötilan, käyttölämpötilan, vakiolämpötilan ajan ja vikatiedot yhdellä näytöllä; PID-parametrien dynaaminen säätö toiminnoilla, kuten vastenopeus ja lämpötilan ylityksen esto;
③ Käyttää mikrotietokoneen P.I.D-lämpötilasäädintä, jossa on ylilämpötilapoikkeamasuoja, ylinopeussuoja ja kosketusnäyttö, ja sisältää ajastustoiminnon;
④ Useita ajastustiloja: 1. Ajoitusyksiköitä voidaan vapaasti vaihtaa minuuttien ja tuntien välillä; 2. Kaksi ajastustilaa: ajastus käynnistyksestä ja ajastus vakiolämpötilan saavuttamisen jälkeen;
⑤ Varustettu korkean tarkkuuden vastuspii-tyhjiöanturilla, joka on vakaa ja luotettava ja havaitsee tyhjiöasteen kammion sisällä reaaliajassa, tarjoten tarkan tietotuen ja takuun tarkkoihin prosesseihin;
⑥ Päivitetty ääni- ja valohälytysympäristön skannausmikrotietokonesiru, jossa on vakaat tietojenkäsittelyominaisuudet;
⑦ Ominaisuuksiin kuuluvat ylilämpötilahälytys, ylilämpötilan lämmityksen katkaisu, ajastettu sammutus, käynnistyksen palautus, parametrien muisti, lämpötilan korjaus ja itsesäätö;
⑧ Virtakatkon palautustoiminto: Jos ulkoinen virtalähde yhtäkkiä katkeaa ja sitten palautuu, laite voi automaattisesti jatkaa toimintaansa alkuperäisen ohjelman mukaisesti;
⑨ Itseviritys: Kun lämpötilan säädön tarkkuus on epätarkka ympäristön lämpötilan muutosten vuoksi, voidaan suorittaa itseviritys lämpötilan tarkentamiseksi;
⑩ Useita tiloja voidaan vaihtaa vapaasti: kiinteän arvon tila/ajastustilan vaihto.
| Malli | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| Ohjausjärjestelmä | PLC teollisuustietokone | ||
| Ihmisen ja tietokoneen välinen vuorovaikutus | 7 tuuman värillinen kosketusnäyttöohjain | ||
| Lämpötila-anturi | PT100 Platinum RTD | ||
| Lämpötila-alue | RT 10-200 ℃ | ||
| Lämpötilan resoluutio | 0,1 ℃ | ||
| Lämpötilan vaihtelu | ≤±0,5℃ | ||
| Ajastinalue | 0～9999 min | ||
| Ohjelmaryhmä | 100 ryhmää / 100 segmenttiä ryhmää kohden | ||
| Tietoturva | Taso 3 kulunvalvonta, kirjausketju | ||
| Älykäs turvallisuus | Käynnistyksen itsetesti, ylilämpötilahälytys ja lämmityksen katkaisu, lämpötila-anturin poikkeaman korjaus, näytön lukitus. | ||
| Ajoituksen suunta | Laske ylös/alas | ||
| Ajoitusyksikkö | Minuutti/tunti | ||
| Tyhjiömittari | Resistiivinen silikoninen tyhjiömittari | ||
| Lopullinen tyhjiö | ≤100Pa | ||
| Pumppausnopeus | 2L/S | ||
| Virtalähteen jännite | AC220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| Nimellisteho | 2 kW | 3 kW | 3,2 kW |
| Sisämitat | 410x370x345mm | 450x450x450mm | 500x500x600mm |
| Ulkomitat | 610x525x1285mm | 660x590x1470mm | 670x650x1630mm |
| Äänenvoimakkuus | 52L | 91L | 150L |
| Vakiohyllyt | 2 | 2 | 3 |
| Brutto/nettopaino | 152/138kg | 185/165kg | 235/205KG |
| Ei | Nimi | Parametrit | Viitevalokuva |
| 1 | Vieritä tyhjiöpumppua | ① Öljytön pumppu | |
| 2 | Öljysumun suodatin | ① Suodattaa öljysumun tyhjiöpumpusta |  |
Käyttäjät luottavat syvästi kuuluisien yritysten toimittamiin tuotteisiin.
Shanghai Dengsheng Instrument Manufacturing Co., Ltd. , on korkean teknologian yritys, joka yhdistää T&K-toiminnan, tuotannon, myynnin ja palvelun. Olemme erikoistuneet korkealaatuisten laboratoriolaitteiden valmistukseen, mukaan lukien uunit, inkubaattorit, teollisuusuunit ja ympäristötestauskammiot.
As and We ylpeilee 8 000 neliömetrin nykyaikaisella tuotantolaitoksella, omistautuneen T&K-tiimin, 23 kansallisen patentin ja ISO-9001-laatujärjestelmän sertifioinnin. Ratkaisujamme käytetään laajasti huippualoilla, kuten ilmailuteollisuudessa, puolijohteissa, biolääketieteessä, autoteollisuudessa ja uusissa materiaaleissa. Olemme solmineet syvällisiä kumppanuuksia huippuyliopistojen ja alan johtajien kanssa, toimitamme tuotteitamme vientiin moniin maihin ja alueille ympäri maailmaa.
Noudattamalla "Rehellisyyden, innovaation ja win-win" -periaatteita olemme sitoutuneet olemaan luotettu kumppanisi luotettavalla laadulla ja omistautuneella palvelulla.
Otamme mielellämme vastaan tiedusteluja ja yhteistyötä niin uusilta kuin olemassa olevilta asiakkailta tarjoamalla ammattimaisia laiteratkaisuja.
2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
Takaisin alkuun
